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      中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准

      更新时间:2015-09-15      点击次数:3179

      中国国家电子级超纯水GB/TII446.11997标准



       指标\级别

       EW

       EW

      EW 

      EW-

       电阻率 MΩ,cm(25)

      18以上,(95%时间)不低于17

      15,(95%时间)不低于13

       12.0   

      0.5   

       全硅,zui大值,μg/L

      2

      10

      50

      1000

       1μm微粒数,zui大值,个/mL

      0.1

      5

      10

      500

       细菌个数,zui大值,个/mL

      0.01

      0.1

      10

      100

       铜,zui大值,μg/L

      0.2

      1

      2

      500

       锌,zui大值,μg/L

      0.2

      1

      5

      500

       镍,zui大值,μg/L

      0.1

      1

      2

      500

       钠,zui大值,μg/L

      0.5

      2

      5

      1000

       钾,zui大值,μg/L

      0.5

      2

      5

      500

       氯,zui大值,μg/L

      1

      1

      10

      1000

       硝酸根,zui大值,μg/L

      1

      1

      5

      500

       磷酸根,zui大值,μg/L

      1

      1

      5

      500

       硫酸根,zui大值,μg/L

      1

      1

      5

      500

       总有机酸,zui大值,μg/L

      20

      100

      200

      1000


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